75〜300mm7.5K圧力感知自力式、水圧作動自力復帰式、直流ソレノイド式
150〜1000mm（種類によって異なります）ウェイト式油圧分離形、ウェイト式機械直動形,スプリングリターン式油圧分離形、ロータリーアクチュエータ式油圧分離形
50〜350mm 7.5K（50mmは10Kウエハー形）
